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NL-QMS磁控濺射納米顆粒尺寸控制系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:NL-QMS磁控濺射納米顆粒尺寸控制系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)納米顆粒的尺寸分布,通過(guò)質(zhì)量過(guò)濾器按質(zhì)量或直徑實(shí)時(shí)掃描或過(guò)濾沉積的納米顆粒,從而促進(jìn)生長(zhǎng)條件的優(yōu)化。

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  • 更新時(shí)間:2025-01-26
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NL-QMS磁控濺射納米顆粒尺寸控制系統(tǒng)

NL-QMS磁控濺射納米顆粒尺寸控制系統(tǒng)


四極桿質(zhì)譜儀(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS在磁控濺射納米顆粒尺寸控制中的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

1.       實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與反饋

o    QMS能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)納米顆粒的尺寸分布,通過(guò)質(zhì)量過(guò)濾器按質(zhì)量或直徑實(shí)時(shí)掃描或過(guò)濾沉積的納米顆粒,從而促進(jìn)生長(zhǎng)條件的優(yōu)化。

o    通過(guò)調(diào)整工藝參數(shù),如磁控濺射電流、結(jié)露區(qū)長(zhǎng)度和氣體流量等,可以精確控制納米顆粒的尺寸。

2.       精確控制納米顆粒尺寸

o    1-20 nm范圍內(nèi)調(diào)整納米顆粒的尺寸分布,這對(duì)于許多應(yīng)用領(lǐng)域(如生物醫(yī)學(xué)、電子材料等)至關(guān)重要。

o    例如,在銀納米團(tuán)簇的制備中,通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流和氬氣流量,可以獲得平均粒徑為2, 46 nm的銀納米團(tuán)簇。

3.       工藝參數(shù)的優(yōu)化

o    QMS可以與透射電子顯微鏡(TEM)等其他表征手段結(jié)合,對(duì)比在線和離線測(cè)量結(jié)果,確保納米顆粒尺寸控制的準(zhǔn)確性和一致性。

o    通過(guò)QMS的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),可以優(yōu)化工藝參數(shù),如濺射電流、氣體流量和結(jié)露區(qū)長(zhǎng)度,以實(shí)現(xiàn)對(duì)納米顆粒尺寸的精確控制。

4.       應(yīng)用實(shí)例

o    在等離子體氣相凝聚技術(shù)中,QMS被用于在線測(cè)量銀納米團(tuán)簇的粒徑尺寸與分布,并與TEM離線測(cè)量值進(jìn)行比對(duì),驗(yàn)證了QMS在納米顆粒尺寸控制中的有效性。

通過(guò)上述方法,NL-QMS能夠有效地控制納米顆粒的尺寸,滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域?qū){米顆粒尺寸的精確要求。

 

 NL-QMS磁控濺射納米顆粒尺寸控制系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目/源選項(xiàng)

NL-D1

NL-D2

NL-D3

源輸出

75W直流

100W直流

3×75W直流

濺射靶

1×1英寸

1×2英寸

3×1英寸

靶厚度 (mm)

0.5-3

0.5-3

0.5-3

 


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